发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A PROBE FOR THE SCANNING NEAR-FIELD OPTICAL MICROSCOPY AND A PROBE PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Sonde für die optische Rasternahfeldmikroskopie und eine mit diesem Verfahren hergestellte Sonde. Hierzu wird die als Sonde zu verwendende Glasfaser nach dem Ätzprozess nass abgeschliffen, um eine sehr scharfe Spitze mit einem kleinen Spitzenradius im Nanometer-Bereich und gleichzeitig eine glatte oberfläche zu erhalten. Der Konuswinkel der Sonde lässt sich durch Variation des Schleifwinkels im Bereich zwischen 20 DEG und 90 DEG einstellen. Die derart hergestellten Sonden ermöglichen Untersuchungen mit einem hohen Transmissionsverhältnis in der Grössenordnung von mindestens 10<-3> und einer Auflösung deutlich unter 100 nm.</p> |
申请公布号 |
WO0144853(A2) |
申请公布日期 |
2001.06.21 |
申请号 |
WO2000EP12660 |
申请日期 |
2000.12.13 |
申请人 |
CARL ZEISS JENA GMBH;HELD, THOMAS;EMONIN, STEPHANIE |
发明人 |
HELD, THOMAS;EMONIN, STEPHANIE |
分类号 |
G01Q60/18;G01Q70/16;G02B6/26;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G01Q60/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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