DEVICE FOR PRODUCING A GAS MIXTURE

摘要

Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Herstellung eines Gasgemisches aus HMDSO und Sauerstoff, wobei Prozessgas hergestellt wird. Damit ein grosses Volumen an Prozessgas mit einer solchen Vorrichtung kontinuierlich herstellbar und bei praktisch verarbeitbaren Temperaturen abziehbar ist, wird erfindungsgemäss vorgesehen, dass in einer länglichen, im wesentlichen vertikal angeordneten, kühlfähigen Kolonne (1) mehrere Füllpackungen (2) übereinander angeordnet sind, dass im oberen Bereich der Kolonne (1) ein von aussen in die Kolonne (1) eingeführter Zulaufstutzen (3) und ein nach aussen geführter Gasaustrittsanschluss (6) befestigt sind und dass Einrichtungen (26) für die Messung der Temperatur, des Druckers und der Menge des austretenden Gasgemisches vorgesehen sind. Weiter ist unter dem inneren Auslaufende (4) des Zulaufstutzens (3) eine den Querschnitt der Kolonne (1) überspannende Verteilerschale (29) mit Gasdurchströmöffnungen (38) angebracht.