| 摘要 |
<p>Für eine Optimierung der Strömungsverhältnisse bei einer Vorrichtung (1) zum Behandeln von Substraten (2) in einem mit Behandlungsfluid gefüllten Behandlungsbecken (3), mit wenigstens einem Diffusor (12) zum Einleiten des Fluids in das Behandlungsbecken (3), ist vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Diffusor (12) und den Substraten (2) einstellbar ist. Ferner ist ein Verfahren zum Einstellen des Abstands angegeben. Als weitere Massnahme zur Verbesserung der Strömungsverhältnisse bei einer Vorrichtung der oben genannten Art ist vorgesehen, dass der Diffusor (12) eine zu den Substraten (2) hin zylindrisch gewölbte Diffusorplatte (18) mit Austrittsöffnungen (20) aufweist, deren Zylinderachse senkrecht zu den Substratebenen verläuft.</p> |
