| 发明名称 |
Semiconductor wafer handling method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0110088(D0) |
申请公布日期 |
2001.06.20 |
| 申请号 |
GB20010010088 |
申请日期 |
2001.04.25 |
| 申请人 |
FILTRONIC COMPOUND SEMICONDUCTOR LIMITD |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/301;H01L21/44;H01L21/48;H01L21/50;H01L21/68;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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