发明名称 |
Forming barrier layers in semiconductor devices |
摘要 |
|
申请公布号 |
GB2357371(A) |
申请公布日期 |
2001.06.20 |
申请号 |
GB19990026114 |
申请日期 |
1999.11.04 |
申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
PAUL * RICH |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/283 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|