发明名称 |
HIGH RESOLUTION ANALYTICAL PROBE STATION |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1108216(A1) |
申请公布日期 |
2001.06.20 |
申请号 |
EP19990945265 |
申请日期 |
1999.08.26 |
申请人 |
THE MICROMANIPULATOR COMPANY INC. |
发明人 |
HOLLMAN, F., KENNETH |
分类号 |
G01R1/06;G01R31/28;G01R31/307;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/02 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|