发明名称 HIGH RESOLUTION ANALYTICAL PROBE STATION
摘要
申请公布号 EP1108216(A1) 申请公布日期 2001.06.20
申请号 EP19990945265 申请日期 1999.08.26
申请人 THE MICROMANIPULATOR COMPANY INC. 发明人 HOLLMAN, F., KENNETH
分类号 G01R1/06;G01R31/28;G01R31/307;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/02 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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