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发明名称
Semiconductor memory device having a hydrogen barrier layer, and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号
EP1006580(A3)
申请公布日期
2001.06.20
申请号
EP19990120841
申请日期
1999.10.25
申请人
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION
发明人
NAGANO, YOSHIHISA;TANAKA, KEISUKE;NASU, TORU
分类号
H01L27/10;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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