发明名称 Semiconductor memory device having a hydrogen barrier layer, and method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP1006580(A3) 申请公布日期 2001.06.20
申请号 EP19990120841 申请日期 1999.10.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 NAGANO, YOSHIHISA;TANAKA, KEISUKE;NASU, TORU
分类号 H01L27/10;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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