发明名称 Ofen zum Eindiffundieren von Stoerstellen in Halbleiterkoerpern
摘要
申请公布号 DE1758751(A1) 申请公布日期 1971.02.25
申请号 DE19681758751 申请日期 1968.08.01
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 CONZE,PETER;SCHNEPF,HARTMUT
分类号 C30B31/10;H01L21/677 主分类号 C30B31/10
代理机构 代理人
主权项
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