| 发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG81342(A1) |
申请公布日期 |
2001.06.19 |
| 申请号 |
SG19990006524 |
申请日期 |
1999.12.22 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
EIICHI KOBAYASHI;KEN-ICHI YOKOYAMA;YUKIO NISHIMURA |
| 分类号 |
G03F7/039;C08F8/00;C08F212/14;C08L25/18;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
