发明名称 AN ADVANCED LOW-LEAKAGE ARCHITECTURE FOR SUB-0.18MM SALICIDED CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 SG81356(A1) 申请公布日期 2001.06.19
申请号 SG20000003419 申请日期 2000.06.16
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 LIM ENG HUA;LIM CHONG WEE;SIAH SOH YUN;LEE KONG HEAN;LEE PEI CHING
分类号 H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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