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发明名称
摘要
申请公布号	JP3176312(B2)	申请公布日期	2001.06.18
申请号	JP19970082050	申请日期	1997.03.14
申请人		发明人
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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