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发明名称
摘要
申请公布号 JP3177278(B2) 申请公布日期 2001.06.18
申请号 JP19910346996 申请日期 1991.12.27
申请人 发明人
分类号 C23C8/24;C01B21/068;C01B21/072;C01B21/082;C04B35/58;C04B35/581;C04B35/591;C04B35/65;(IPC1-7):C23C8/24 主分类号 C23C8/24
代理机构 代理人
主权项
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