| 摘要 |
碟片边缘磨光机能够磨光碟片10中心孔12的内边缘14与外边缘16;在碟片边缘磨光机中,一吸取构件50具有圆柱端部,吸取构件50用圆柱端部吸取碟片10并曝露碟片10的内边缘14与外边缘16,吸取构件50与碟片10一起旋转,外磨光构件20磨光碟片10的外边缘16,一内磨光构件30插入于中心孔l2并同时磨光碟片10的内边缘14,一第一驱动机构60使外磨光构件20与吸取构件50沿预定路径〝P〞对碟片10外边缘16做相对接近与远离运动,一第二驱动机构使内磨光构件30与吸取构件50沿从原预定路径〝P〞延伸的另一预定路径〝P〞对碟片内边缘14接近与远离。 |
| 主权项 |
1.一种碟片边缘磨光机,用以磨光一碟片10中心孔12的内边缘14及其外边缘16者,包括:一具有一圆柱端部的吸取构件50,该吸取构件50藉其圆柱端部吸取碟片10而曝露碟片10的内边缘14与外边缘16,该吸取构件50与碟片10一同旋转;一外磨光构件20磨光碟片10的外边缘16;一内磨光构件30插入于中心孔12而同时磨光碟片10的内边缘14;一第一驱动机构60沿一预定路径〝P〞相对驱动该外磨光构件20与该吸取构件50接近与远离该碟片10的外边缘16;及一第二驱动机构70沿另一从原预定路径〝P〞延伸的预定路径〝P〞相对驱动该内磨光构件30与该吸取构件50接近与远离该碟片10的内边缘14。2.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述外磨光构件20之内周面22接触于碟片10的外边缘16,及该外磨光构件20旋转藉以磨光碟片10的外边缘16。3.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述外磨光构件20围绕一固定转轴42旋转,该转轴并不相对于一基部40移动。4.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述各预定路径〝P〞为环绕一同轴中心(65)之路径。5.如申请专利范围第4项之碟片边缘磨光机,其中所述第一驱动机构60包含:一具有第一端的第一臂64,端上以可回转方式附装该吸取构件50,及一第二端,其可枢接于该同轴中心65藉此在该圆弧路径〝P〞上推动该吸取构件50;及一第一臂驱动单元66用以转动该第一臂64,及该第二驱动机构70包含:一具有第一端的第二臂74,端上以可回转方式附装该内磨光构件30,及一第二端,其可枢接于该同轴中心65藉此在该圆弧路径〝P〞上推动该内磨光构件30,及一第二臂驱动单元76用以转动该第二臂74。6.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述各预定路径为线形路径。7.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述该第一驱动机构60与该第二驱动机构70为空气气缸单元66.76。8.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,其中所述外磨光构件20与内磨光构件30系主要由泡沫状尿烷所制成。9.如申请专利范围第8项之碟片边缘磨光机,其中所述外磨光构件20之内周面22形成有复数环状沟槽,而以正常间隔沿该外磨光构件20轴向排列,及该内磨光构件30之外周面32形成有复数环状沟槽,而以正常间隔沿该内磨光构件30轴向排列。10.如申请专利范围第1项之碟片边缘磨光机,更包括:一外泥浆通道23供应泥浆至一据点,于此处该外磨光构件20接触于碟片10之外边缘16;及一内泥浆通道33连通于该吸取构件50的一内部空间,该内泥浆通道33供应泥浆至一据点,在此该内磨光构件30接触于碟片10之内边缘14。11.一种碟片边缘磨光系统,包括:一对磨光台(85,85),各具有一碟片边缘磨光机,用以磨光碟片10中心孔12的内边缘14与外边缘16,包含:一具有一圆柱端部的吸取构件50,该吸取构件50藉其圆柱端部吸取碟片10而曝露碟片10的内边缘14与外边缘16,该吸取构件50与碟片10一同旋转;一外磨光构件20磨光碟片10的外边缘16;一内磨光构件30插入于中心孔12而同时磨光碟片10的内边缘14;一第一驱动机构60沿一预定路径〝P〞相对驱动该外磨光构件20与该吸取构件50接近与远离该碟片10的外边缘16;及一第二驱动机构70沿另一从原预定路径〝P〞延伸的预定路径〝P〞相对驱动该内磨光构件30与该吸取构件50接近与远离该碟片10的内边缘14;及一碟片操控机90供给碟片10予该磨光台(85,85)之吸取构件50,与自其接受碟片10。12.如申请专利范围第11项之碟片边缘磨光系统,更包括一洗涤台88安置于该等磨光台(85,85)之间,用以洗涤轮流从该等磨光台(85,85)输送而至的碟片10。13.如申请专利范围第12项之碟片边缘磨光系统,其中所述磨光台85,85及洗涤台88之中心系排列在一标准直线上,而该洗涤台系位于该等磨光台85,85间之中点。14.如申请专利范围第13项之碟片边缘磨光系统,其中所述碟片操控机90具有一夹持单元92用以夹持碟片10;及该夹持单元92藉一驱动单元与标准线平行移动。15.如申请专利范围第12项之碟片边缘磨光系统,其中所述吸取构件50系藉以往复单元往复驱动于该等磨光台85,85与该洗涤台88之间。图式简单说明:第一图为本发明之碟片边缘磨光机第一实施例的平面图;第二图为包含第一图所示机器的碟片边缘磨光系统的本发明一实施例之平面图;第三图为第二图所示磨光机在磨光碟片外边缘的侧部剖面图;第四图为第三图所示第一驱动机构的平面图;第五图为夹持碟片用夹持构件的剖面图;第六图为第二图所示磨光机在磨光碟片内边缘的侧部剖面图;第七图为第六图所示第二驱动机构的平面图;第八图为一说明图,以助清楚地了解外磨光构件与内磨光构件间的位置关系,其中磨光内边缘用磨光机对着第二图位于相对侧;第九图为碟片边缘磨光机第二实施例的平面图;及第十图为碟片边缘磨光机第三实施例的平面图。 |
