载具及研磨装置

摘要

一种载具及研磨装置，可高精密度研磨工件，且可防止渗漏污染而使工件受损。一载具l系具有一载具主体2、一压力室3、一流体通道部4，以及特别设于压力室3中之复数个活瓣部5。因此，当压力室3内部变成负压状态时，活瓣部5即打开而藉由吸力载起晶圆W，而当压力室内部变成正压状态时，活瓣部5即关闭，且在压力室3中之空气即均匀地压抵该晶圆W。再者，由于活瓣部5在正压状态中系关闭的，因此在压力室3中之空气不会流到外界。

主权项

1.一种载具,包含: 一载具主体,具有一工件容置孔; 一压力室,由一横置于该载具主体之容置孔中且可 与工件之整个背面相接触之柔软板片所界定; 一流体通道部,由设于该载具主体且与该压力室相 连通之流体路径,以及设于该板片且与该压力室相 连通之复数个开孔所构成;以及 活瓣部,设于靠近该板片间孔之位置,用以在该压 力室内部为正压状态时关闭该开孔,以及在该压力 室内部为负压状态时打开该开孔。2.如申请专利 范围第1项之载具,其中该活瓣部具有浮体,该浮体 可在该压力室充满流体时向上浮起,以使该活瓣部 动作而打开该开孔。3.如申请专利范围第1项之载 具,其中该活瓣部系由柔软的板状构件所构成,该 板片构件之一端系在其他端由压力室侧覆盖位该 板片之开孔的状态下连接至该板片。4.如申请专 利范围第3项之载具,其中该板片构件之该压力室 侧设有浮体,该浮体可在该压力室充满流体时向上 浮起。5.如申请专利范围第1项之载具,其中该板片 系由具有柔软性之n个叠合且彼此黏合在一起的板 片构件所构成; 复数个活瓣部系由设于自该压力室侧算起之第X(1 ≦X