PORTADOR DE OBLEA PARA MAQUINA PULIDORA DE OBLEAS SEMICONDUCTORAS.

摘要

UNA MAQUINA PULIDORA DE PLAQUITAS DE SEMICONDUCTORES (10) QUE TIENE AL MENOS UN CONJUNTO DE ALMOHADILLAS PULIDORAS (12) Y AL MENOS UN PORTAPLAQUITAS (18) COLOCADO PARA SOPORTAR UNA PLAQUITA DE SEMICONDUCTOR CONTRA EL CONJUNTO DE ALMOHADILLAS PULIDORAS (12) QUE INCLUYE UNA JUNTA (20) QUE TIENE DOS EJES DE ROTACION QUE SE INTERSECTAN EN UN CENTRO DE ROTACION. HAY UN MANDRIL PARA LAS PLAQUITAS (32) SOPORTADO SOBRE LA JUNTA (20) ADYACENTE A LA PERIFERIA DEL MANDRIL (32) PARA CONSEGUIR MAYORES VELOCIDADES DE RETIRADA DEL MATERIAL EN EL CENTRO DE LA PLAQUITA QUE EN LA PERIFERIA DE LA PLAQUITA DURANTE EL PULIDO.