发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'INTERCONNEXIONS METALLIQUES DANS DES CIRCUITS INTEGRES |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2771854(B1) |
申请公布日期 |
2001.06.15 |
申请号 |
FR19970015335 |
申请日期 |
1997.11.28 |
申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
GAYET PHILIPPE |
分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L23/528 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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