发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'INTERCONNEXIONS METALLIQUES DANS DES CIRCUITS INTEGRES
摘要
申请公布号 FR2771854(B1) 申请公布日期 2001.06.15
申请号 FR19970015335 申请日期 1997.11.28
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA 发明人 GAYET PHILIPPE
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L23/528 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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