| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer kristallisierten keramischen Schicht durch Laser-Annealing, wobei eine Erzeugungseinrichtung (10), die wenigstens einen Pulslaser (22) aufweist, einen ersten Laserstrahl (16) und einen von diesem räumlich getrennten zweiten Laserstrahl (18) erzeugt; eine Verschiebungseinrichtung (12) den zweiten Laserstrahl (18) zeitlich gegenüber dem ersten Laserstrahl (16) verschiebt; eine Zusammenführungseinrichtung (14) die beiden räumlich getrennten Laserstrahlen (16, 18) in einem Ausgangsstrahl (20) zusammenführt, wobei die Pulsdauer des Ausgangsstrahls (20) durch Steuerung der zeitlichen Verschiebung des zweiten Laserstrahls (18) gegenüber dem ersten Laserstrahl (16) gesteuert wird; und das Temperaturprofil in der keramischen Schicht durch Steuerung der Pulsdauer des Ausgangsstrahls (20) eingestellt wird. Die Erfindung betrifft außerdem ein Lasersystem, besonders entwickelt zur Ausführung dieses Verfahrens, mit einer Erzeugungseinrichtung (10), die wenigstens einen Pulslaser (22) aufweist und derart ausgebildet ist, dass sie einen ersten Laserstrahl (16) und einen von diesem räumlich getrennten zweiten Laserstrahl (18) erzeugt; einer Verschiebungseinrichtung (12), die derart ausgebildet ist, dass sie den zweiten Laserstrahl (18) zeitlich gegenüber dem ersten Laserstrahl (16) verschiebt; und einer Zusammenführungseinrichtung (14), die derart ausgebildet ist, dass sie die beiden räumlich getrennten Laserstrahlen (16, 18) in einem Ausgangsstrahl (20) zusammenführt.</p> |
