| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft einen thermooptischen Wellenleiterschalter (1), der auf einem Substrat angeordnet ist. Er umfasst eine Glasschicht, in der ein Wellenleiter (3, 8) verläuft. Unterhalb des Wellenleiters ist ein Hohlraum (5) angeordnet, der den Wellenleiter thermisch von dem Substrat entkoppelt. Zur mechanischen Stabilisierung sind in dem Hohlraum mindestens zwei Stützen (6) angeordnet. Ein Herstellungsverfahren zur Bildung eines thermooptischen Wellenleiterschalters bildet eine Glasschicht mit einer Löcheranordnung auf einem Substrat. Durch isotrope Unterätzung der Glasschicht entsteht mindestens ein Hohlraum mit mindestens zwei Stützen in dem Hohlraum. Der Hohlraum wird anschliessend verschlossen und oberhalb des Hohlraums wird ein Wellenleiter gebildet. Ein weiteres Herstellungsverfahren bildet zunächst einen Wellenleiter in einer Glasschicht, die auf einem Substrat gebildet wird. Anschliessend wird die Glasschicht neben dem Wellenleiter mit einer Maske entfernt und der Wellenleiter wird durch einen isotropen Ätzprozess zumindest teilweise unterätzt, wobei unter dem Wellenleiter ein Hohlraum mit mindestens zwei Stützen gebildet wird.</p> |
