摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Lasersystem mit steuerbarer Pulsdauer, mit einer Erzeugungseinrichtung (10), die wenigstens einen Pulslaser (22) aufweist und derart ausgebildet ist, dass sie einen ersten Laserstrahl (16) und einen von diesem räumlich getrennten zweiten Laserstrahl (18) erzeugt; einer Verschiebungseinrichtung (12), die derart ausgebildet ist, dass sie den zweiten Laserstrahl (18) zeitlich gegenüber dem ersten Laserstrahl (16) verschiebt; und einer Zusammenführungseinrichtung (14), die derart ausgebildet ist, dass sie die beiden räumlich getrennten Laserstrahlen (16, 18) in einem Ausgangsstrahl (20) zusammenführt. Dieses Lasersystem ist besonders zur Verwendung in einem Verfahren zur Herstellung einer kristallisierten keramischen Schicht durch Laser-Annealing geeignet, wobei das Temperaturprofil in der keramischen Schicht durch Steuerung der Pulsdauer des Ausgangsstrahls dieses Lasersystems eingestellt wird.</p> |