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Ein Resonanzelement umfaßt ein stationäres Substrat, das eine Hauptoberfläche in einer X- und Z-Richtung aufweist, die orthogonal zueinander sind, einen Planar-Schwingkörper, der über Tragebalken befestigt ist, um in der X-Richtung schwingen zu können, wobei der Planar-Schwingkörper einen Gewichtsabschnitt aufweist, der von dem stationären Substrat isoliert ist, einen Erreger zum Schwingen des Planar-Schwingkörpers in der X-Richtung und eine Einrichtung zum Einstellen der Resonanzfrequenz des Planar-Schwingkörpers durch ein Liefern von elektrostatischen Kräften auf den Planar-Schwingkörper und zum Korrigieren der Neigung des Planar-Schwingkörpers bezüglich der Substratebenenrichtung des stationären Substrats, wobei die Neigungskorrektureinrichtung auf der Ebenenseite zumindest an Kantenbereichen des Planar-Schwingkörpers vorgesehen ist, die sich mit einem Spalt in der X-Richtung dazwischen gegenüberliegen und von dem Planar-Schwingkörper in einer Y-Richtung, die orthogonal zu der X- und Z-Richtung ist, beabstandet sind.
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