| 发明名称 | 印刷电路基板的检查装置 | ||
| 摘要 | 一种印刷电路基板的检查装置,设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置,能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意坐标位置处,用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光,依据检测器的输出信号判断各坐标位置检查结果是否良好。 | ||
| 申请公布号 | CN1299465A | 申请公布日期 | 2001.06.13 |
| 申请号 | CN98814134.5 | 申请日期 | 1998.08.10 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 西田聪;水野正纪;黑泽满树;竹野祥瑞;森安雅治 |
| 分类号 | G01N21/88;G01B11/30;H05K3/00 | 主分类号 | G01N21/88 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 孙敬国 |
| 主权项 | 1．一种印刷电路基板的检查装置，其特征在于，具有：激光振荡器；将前述激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向所指令的任意座标位置的扫描装置；及对激光照射的印刷电路基板所产生的光进行检测的检测器。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||