发明名称 Verfahren zum Integrieren eines Chips innerhalb einer Leiterplatte
摘要 <p>Zum Erzeugen einer hochintegrierten Struktur wird ein Chip innerhalb einer Leiterplatte eingebettet, indem der Chip rückseitig gedünnt wird, auf eine Leiterplattenbodenschicht aufgebracht wird, von einer weiteren Leiterplattenbodenschicht umhüllt wird, in der Ausnehmungen erzeugt werden, welche sich bis zu einer Leiterstruktur der Leiterplattenbodenschicht und Anschlußflächen des Chips erstrecken. Eine Kontaktierung erfolgt durch eine Kontaktierungsleiterstruktur, die sich bis zu der Anschlußfläche des Chips und der Leiterstruktur der Leiterplattenbodenschicht erstreckt. Für mehrschichtige dreidimensionale Strukturen wird das Verfahren lagenweise wiederholt.</p>
申请公布号 DE19954941(A1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 DE1999154941 申请日期 1999.11.16
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 JUNG, ERIK;OSTMANN, ANDREAS;LANDESBERGER, CHRISTOPH
分类号 H01L21/60;H01L23/52;H01L23/538;H05K1/18;(IPC1-7):H05K1/18 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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