| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DIAMANTÄHNLICHER KOHLENSTOFF-FILME (DLC) |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69612734(D1) |
申请公布日期 |
2001.06.13 |
| 申请号 |
DE1996612734 |
申请日期 |
1996.11.02 |
| 申请人 |
ORION ELECTRIC CO. LTD., KUMI |
发明人 |
JANG, JIN;PARK, CHANG |
| 分类号 |
C01B31/06;C23C14/06;C23C14/58;C23C16/26;C23C16/27;C23F4/00;C30B25/00;C30B29/04;H01J9/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C01B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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