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发明名称 Vakuumbogen-Verdampfungsverfahren, Vakuumbogen-Verdampfungssystem und Drehschneidewerkzeug
摘要
申请公布号 DE10080930(T1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 DE20001080930T 申请日期 2000.03.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HASHIMOTO, YASUHISA;YAMAGATA, KAZUO;IKEGAYA, AKIHIKO
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/06;C23C14/08;B23P15/28;B23B27/14 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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