| 发明名称 |
High resistivity carbide or nitride film for four transistor static random access memory structures (4T SRAM) |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2357185(A) |
申请公布日期 |
2001.06.13 |
| 申请号 |
GB20000019964 |
申请日期 |
2000.08.14 |
| 申请人 |
* LUCENT TECHNOLOGIES INC |
发明人 |
SEUNGMOO * CHOI;AMAL MA * HAMAD;FELIX * LLEVADA;VIVEK * SAXENA;PAI H * YIH |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/02;H01L21/320;H01L21/70 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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