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发明名称 SILICATE-CONTAINING ALKALINE COMPOSITIONS FOR CLEANING MICROELECTRONIC SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1105778(A1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 EP19990925649 申请日期 1999.05.17
申请人 MALLINCKRODT INC. 发明人 SKEE, DAVID, C.
分类号 C11D3/00;C11D3/02;C11D3/08;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/36;C11D3/39;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;C23G1/22;G03F;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 C11D3/00
代理机构 代理人
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