Device for heating smelt crucibles

摘要

Es wird ein Heizelement bzw. eine Anordnung von Heizelementen zum Beheizen von Schmelztiegeln, insbesondere für LEC-Vorrichtungen zur Züchtung von Halbleiter-Einkristallen bereit gestellt, bei der ein tulpenförmiger Bodenheizer (20) so gebaut ist, daß die Heizerfüße des darüber positionierten Hauptheizers (40) gerade nach unten geführt werden können. Eine derartige Anordnung von Boden- und Hauptheizer ermöglicht eine Mehrheizeranordnungen ohne Eingriffe in eine seitliche Isolation (18), welche auf diese Weise nicht ausgeschnitten oder durchbrochen werden muß.