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发明名称 Thin-film deposition apparatus
摘要
申请公布号 EP0909836(A3) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 EP19980113599 申请日期 1998.07.21
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 FUKUNAGA, YUKIO;SHINOZAKI, HIROYUKI;TSUKAMOTO, KIWAMU;SHIBASAKI, MITSUNAO;HORIE, KUNIAKI;UEYAMA, HIROYUKI;MURAKAMI, TAKESHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/40;C23C16/54 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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