Device and method for supporting an optical element with reduced deformation

摘要

Eine Vorrichtung zur deformationsarmen Lagerung eines optischen Elementes (2), insbesondere einer Abschlußplatte eines Objektives in einer Projektionsbelichtungsanlage für Halbleiterbauelemente, ist mit einer Fassung (1) versehen, wobei das optische Element (2) mit der Fassung (1) wenigstens teilweise über eine Klebeschicht verbunden ist, die sich zwischen den aneinandergrenzenden Umfangswänden (4,5) von Fassung (1) und optischem Element (2) befindet. Die Fassung (1) ist mit wenigstens drei über den Umfang verteilte Auflagefüßchen (3) versehen, auf denen das optische Element (2) aufliegt. Die Klebeschicht befindet sich in einem Ringspalt (6) zwischen den aneinandergrenzenden Umfangswänden (4,5) von Fassung (1) und optischem Element (2) über wenigstens einen Teilbereich davon. <IMAGE>