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发明名称 Herstellungsverfahren für einen Dünnschichtwiderstand
摘要
申请公布号 DE69330199(D1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 DE19936030199 申请日期 1993.12.20
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KOYAMA, SHUJI;KAWAJIRI, YUKIO;SHIBATA, MAKOTO;SUEOKA, MANABU;SUZUKI, TOSHIO;YAMAMOTO, HISASHI;SUZUKI, TAKUMI
分类号 H01C7/00;B41J2/14;B41J2/16;C23C14/56;H01C17/06;H01C17/08;H01C17/12;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01C7/00;B41J2/05 主分类号 H01C7/00
代理机构 代理人
主权项
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