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发明名称 ION BEAM GENERATION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1105908(A1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 EP19990928079 申请日期 1999.06.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MURRELL, ADRIAN, JOHN;COLLART, ERIK, JAN, HILDA;HARRISON, BERNARD, FRANCIS;AL-BAYATI, AMIR;BURGESS, CHRIS JAMES SYDNEY;ARMOUR, DAVID;HOLMES, ANDREW;POVALL, SIMON;ARNOLD, DREW;BURFIELD, PAUL ANTHONY
分类号 C23C14/46;H01J27/02;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
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