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发明名称 METHOD FOR DOUBLE-SIDED PATTERNING OF HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTING CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP1105925(A1) 申请公布日期 2001.06.13
申请号 EP19990938739 申请日期 1999.07.14
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS 发明人 PANG, PHILIP, SHEK, WAH
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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