| 主权项 |
1.一种PFC系气体回收方法,系以冷却阱将真空处理室所排出之含有PFC系气体之混合气体冻结捕集预定量之后,将该冷却阱之运转停止,使该冷结捕集体气化,而将所产生之再生混合气体通过非PFC系气体除去装置,从该再生混合气体中将PFC系以外之气体除去,以得高浓度PFC系气体,而将该高浓度PFC系废气回收者为特征。2.一种PFC系气体回收装置,系从真空处理室所排出之含有PFC系气体之混合气体中将PFC系气体回收之PFC系气体回收装置;其特征在此装置设有:连接于前述真空处理室之排气系统而用以将设将真空处理室所排出之混合气体冻结捕集之冷却阱,以及该冷却阱之运转停止之后,使该冷冻收集体气化而从所产生之再生混合气体中将PFC系气体以外之气体除去之非PFC系气体除去装置;并设有以该非PFC系气体除去装置将PFC系以外之气体除去,而将所得高浓度PFC系气体回收之回收装置者。3.如申请专利范围第2项之PFC系气体回收装置,其中,设有将前述非PFC系气体除去装置所排出之高浓度PFC系气体供给于前述回收装置,同时,将前述高浓度PFC系气体之一部分回流至前述冷却阱之第1循环系统,而通过该第1循环系统将该高浓度PFC系气体供给于前述冷却阱者。4.如申请专利范围第3项之PFC系气体回收装置,其中,设有使前述非PFC系气体除去装置所排出之高浓度PFC系气体之一部分回流至前述非PFC系气体除去装置之吸入侧的第2循环系统,且时常通过该第2循环系统将高浓度PFC系气体供给于该非PFC系气体除去装置者。5.如申请专利范围第2项之PFC系气体回收装置,其中,前述非PFC系气体除去装置之吸入侧系配置有真空泵。6.如申请专利范围第5项之PFC系气体回收装置,其中,设有将前述非PFC系气体除去装置所排出之高浓度PFC系气体之一部分做为防止油扩散促成稀释用气体而供给于前述真空泵之循环系统。7.如申请专利范围第5项或第6项之PFC系气体回收装置,其中,设有将前述非PFC系气体除去装置所排出之高浓度PFC系气体之一部分回流至前述冷却阱之循环系统,并通过该循环系统将该高浓度PFC系气体之一部分供给于前述冷却阱者。8.如申请专利范围第2项至第6项中任一项之PFC系气体回收装置,其中,装设有2台冷却阱,在以一方之冷却阱将前述真空处理室所排出之含有PFC系气体之混合气体冻结捕集之期间,使另一方之冷却阱运转停止,而使前述冻结捕集物气化,从所产生之再生混合气体中将PFC系气体回收者。9.如申请专利范围第7项之PFC系气体回收装置,其中,装设有2台冷却阱,在以一方之冷却阱将前述真空处理室所排出之含有PFC系气体之混合气体冻结捕集之期间,使另一方之冷却阱运转停止,而使前述冻结捕集物气化,从所产生之再生混合气体中将PFC系气体回收者。图式简单说明:第一图为表示各种气体之气化曲线之图。第二图为表示有关本发明之一形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第三图为表示在第二图之PFC系气体回收装置之A点、B点、C点中排出气体量之测定结果及冷凝捕捉效率之图。第四图为表示在第二图之PFC系气体回收装置之D点、E点中之气体流量之测定结果之图。第五图为表示有关本发明之其形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第六图为表示有关本发明之其他形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第七图为表示有关本发明之其他形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第八图为表示有关本发明之其他形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第九图为表示有关本发明之其他形态之PFC系气体回收装置之构成例之图。第十图为表示有关本发明可使用之非PFC系气体除去装置之构成例之图。 |
