发明名称 Fotoempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Feinstrukturen damit
摘要
申请公布号 DE69612630(D1) 申请公布日期 2001.06.07
申请号 DE19966012630 申请日期 1996.01.22
申请人 NIPPON PAINT CO., LTD. 发明人 TSUSHIMA, HIROSHI;MIKAMI, SHIGERU;WATANABE, EMI;IMAMURA, TSUYOSHI;SUMIYOSHI, IWAO
分类号 G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075;G03C7/12 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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