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发明名称 DEPOSITION REACTOR
摘要
申请公布号 US3608519(A) 申请公布日期 1971.09.28
申请号 USD3608519 申请日期 1968.12.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 KENNETH E. BEAN;JOHN R. CAMPION
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/00;(IPC1-7):B05C11/14 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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