| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine alternierende Phasenmaske (1) mit einer aus zwei opaken Segmenten bestehenden verzweigten Struktur. Beidseits der Segmente oder Teilen hiervon sind jeweils zwei transparente Flächensegmente (5a, 5b) angeordnet, welche um 180° ± Δ α verschobene Phasen aufweisen, wobei Δ α maximal 25° beträgt. Die Flächensegmente (5a, 5b) sind durch wenigstens ein transparentes Flächengrenzsegment (6) getrennt, dessen Phase zwischen den Phasen der angrenzenden Flächensegmente (5a, 5b) liegt.</p> |
