灯退火器及用于控制其处理温度的方法

摘要

根据对每个特定步骤测量的值的偏差来计算晶体管特性的波动,计算在退火步骤前的先前步骤中晶体管特性的总的波动来控制退火步骤的处理温度,以消除由于先前步骤所造成的晶体管特性的总的波动,从而获得所设计的晶体管特性。对晶片的每个区段进行处理温度的控制。

主权项

1．一种灯退火器系统，包括：处理室，其中接收有晶片；灯块，其包括多个区段，每个都能够与其它区段的输出功率无关地以一输出功率加热晶片相应的部分；多个温度计，每个用于测量晶片相应部分的温度；以及一控制部，用于根据由相应的一个温度计测量的温度控制所述灯块的各所述区段的输出功率。