发明名称
摘要
申请公布号 JPS499262(B1) 申请公布日期 1974.03.02
申请号 JP19640052236 申请日期 1964.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L21/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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