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发明名称
摘要
申请公布号
JP2001507516(A)
申请公布日期
2001.06.05
申请号
JP19980515039
申请日期
1997.12.04
申请人
发明人
分类号
H01L33/46;H01S5/10;(IPC1-7):H01S5/10
主分类号
H01L33/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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