发明名称
摘要
申请公布号 JP2001507516(A) 申请公布日期 2001.06.05
申请号 JP19980515039 申请日期 1997.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L33/46;H01S5/10;(IPC1-7):H01S5/10 主分类号 H01L33/46
代理机构 代理人
主权项
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