Abschirmung äußerer Anregungen bei der Vermessung schwingungsfähiger Halbleitermembranen

摘要

Beschrieben wird ein Verfahren zum optischen Vermessen einer schwingungsfähigen und vorzugsweise strukturierten Membran 4 in einer Gasströmungen und/oder akustischen Anregungen ausgesetzten Umgebung, in der eine Vorrichtung zum Vermessen der Membran auf diese fokussiert wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß eine optisch transparente Folie bereitgestellt wird und die Folie 5 und die Membran so angeordnet werden, daß die Gasströmungen und/oder die akustischen Anregungen die Membran nur durch die Folie hindurch erreichen. Mit Hilfe der Folie lassen sich äußere Luftbewegungen und dadurch auch Schwingungen der Membran dämpfen, so daß die Membran präzise vermessen werden kann.