Kondensator für Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Die Erfindung betrifft einen Kondensator für ein Halbleiterspeicherbauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: auf einem Halbleitersubstrat wird eine untere Elektrode ausgebildet; die Oberfläche der unteren Elektrode wird nitriert bzw. nitrid-behandelt, um so die Bildung einer natürlichen Oxidschicht auf deren Oberfläche zu verhindern; als dielektrische Schicht wird auf der Oberseite der unteren Elektrode eine Ta¶2¶O¶5¶-Schicht ausgebildet; auf der Oberseite der Ta¶2¶O¶5¶-Schicht wird eine leitende Sperrschicht ausgebildet, die aus einer Siliziumnitridschicht besteht; und auf der Oberseite der leitenden Sperrschicht wird eine obere Elektrode ausgebildet.