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发明名称 SCHRITTWEISE ABTASTTECHNIK FÜR INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 DE69231585(T2) 申请公布日期 2001.05.31
申请号 DE19926031585T 申请日期 1992.05.08
申请人 BIO-RAD LABORATORIES, INC. 发明人 CURBELO, RAUL;JOHNSON, B.
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01J3/45;G01J3/453;G05B19/39;G05D3/12;(IPC1-7):G05B1/06 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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