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发明名称 Verfahren zum Trocknen einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE19923385(C2) 申请公布日期 2001.05.31
申请号 DE19991023385 申请日期 1999.05.21
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG 发明人 HOHL, GEORG-FRIEDRICH;BRUNNER, ROLAND
分类号 C30B33/00;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
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