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<p>Das optische Winkel- und/oder Weg-Messmodul (1) zur Messung seiner Lage gegenüber einer Massverkörperung (3) beinhaltet Mittel (44) zur Lichtdetektion und Mittel (45-47) zur Abbildung eines Teils der Massverkörperung (3) auf die Detektionsmittel (44). Weiter beinhaltet das Modul (1) einen Strahlteiler (43), mittels welchen einerseits einfallendes Licht (81) auf die Massverkörperung (3) und andererseits von der Massverkörperung (3) kommendes Licht (82) zu den Detektionsmitteln (44) führbar ist. Das Modul (1) kann zwei Modulelemente (10, 11) beinhalten, von denen ein erstes Modulelement (10) die Detektionsmittel (44) und ein zweites Modulelement (11) Mittel zur Ermöglichung einer gleitenden Relativbewegung gegenüber der Massverkörperung (3) aufweist. Mit dem Modul (1) kann ein integrierter Einbaugeber realisiert werden, welcher kostengünstig sowie integriert einbaubar ist und trotzdem eine hohe Auflösung ermöglicht. <IMAGE></p> |
