半导体卷式连续生产导线架的缓冲整平装置

摘要

半导体卷式连续生产导线架的缓冲整平装置,设置于承架后方;它依次包含变频器、缓冲控制器、趋势整平机及精密整平机构,缓冲控制器与导线架间为非接触式感应控制,趋势整平器设有预辗轮组,它包含上部二滚轮及下方位于上部二滚轮的一下部滚轮,导线架与预辗轮组为三点接触被辗压作初步预整后进入精密整平机构整平。可使后制程加工作业更顺畅,令清洗、电镀蚀刻等后续制程的送料对位更准确,工作效率最佳,产品品质提高,成本降低。

主权项

1、一种半导体卷式连续生产导线架的缓冲整平装置，是设置于承架后方，以对导线架作整平作业；其特征在于：上述缓冲整平装置依次包含有变频器、缓冲控制器、趋势整平机及精密整平机构，其中缓冲控制器与导线架间为非接触式感应控制送料，当导线架通过缓冲整平装置至一定高度后，缓冲控制器立刻感知并使变频器启动马达使承架卷盘作连续间歇送料入趋势整平器，趋势整平器设有预辗轮组，该预辗轮组包含上部二滚轮及下方位于上部二滚轮中央的一下部滚轮，导线架与预辗轮组为三点接触穿过其间隙被辗压初步预整，再进入精密整平机构作整平。