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发明名称 DRAM MEMORY CAPACITOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1103067(A1) 申请公布日期 2001.05.30
申请号 EP19990944246 申请日期 1999.07.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REISINGER, HANS;BEITEL, GERHARD;SCHLAMMINGER, STEPHAN;WENDT, HERMANN;LANGE, GERRIT;HANEDER, THOMAS-PETER;FRANOSCH, MARTIN;SCHAEFER, HERBERT
分类号 H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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