A SENSOR FOR MEASURING A SUBSTRATE TEMPERATURE,申请号EP19990942024-传众专利搜索

发明名称	A SENSOR FOR MEASURING A SUBSTRATE TEMPERATURE
摘要
申请公布号	EP1102970(A1)	申请公布日期	2001.05.30
申请号	EP19990942024	申请日期	1999.08.06
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	ADAMS, BRUCE;HUNTER, AARON;RUBINCHIK, ALEX;YAM, MARK;O'BRIEN, PAUL, A.
分类号	G01J5/00;G01J5/02;G01J5/04;G01J5/08;G01J5/34;H01L21/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/00	主分类号	G01J5/00
代理机构		代理人
主权项
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