发明名称 Silicon/germanium transistor where formation of source/drain regions using mask layer occurs before deposition of gate dielectric
摘要
申请公布号 GB2356739(A) 申请公布日期 2001.05.30
申请号 GB20000019481 申请日期 2000.08.08
申请人 * LUCENT TECHNOLOGIES INC 发明人 YI * MA;ALLEN * YEN
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/423 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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