| 发明名称 |
Semiconductor wafer and method for fabrication thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1005069(A3) |
申请公布日期 |
2001.05.30 |
| 申请号 |
EP19990122057 |
申请日期 |
1999.11.17 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED |
发明人 |
KISHIMOTO, JUN |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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