| 主权项 |
1.一种机板处理装置,其特征为,具备:载置收纳复数工件之匣的复数个匣载置部;相对于所载置之工件进行第1处理的第1处理部;相对于所载置之工件随第1处理进行第2处理之第2处理部;及,第1基台;于第1基台上直线移动的2个第2基台;及,分别于第2基台上所设置之第1及第2运送部所构成,上述第1及第2运送部上分别设置保持工件作用之保持部,该保持构件系构成相对于上述第2基台之移动方向的正交方向分别独立移动之输送机构,上述匣载置部长配置在与第2基台的移动方向平行之假设线上,将处理部配置在与该假设线平行之其他假设线上,藉上述运送机构将匣载置部之匣中所取出的工件运送至第1处理部及第2处理部进行预定的处理,将处理后的工件收纳于匣载置部之匣内。2.如申请专利范围第1项之基板处理装置,其中上述运送机构之第2基台系构成一个一体之第2基台,各匣载置部与各处理部分别与运送部的移动方向平行,且于2个运送部的间隔上以等间隔配置在复数假设线上。图式简单说明:第一图是表示本发明第一实施例之工件运送机构的构成图。第二图是表示移动基台之驱动机构的构成例图。第三图(a)、第三图(b)、第三图(c)是说明工件保持臂部之伸缩位置图。第四图(a)、第四图(b)、第四图(c)是表示根据第1实施例的工件运送机构之工件运送顺序图(1)。第五图(d)、第五图(e)是表示根据第1实施例的工件运送机构之工件运送顺序图(2)。第六图为本发明第1实施例之工件的移动处理状态之时间图。第七图是表示本发明第2实施例之工件运送机构的构成图。第八图(a)、第八图(b)、第八图(c)是表示第2实施例的工件运送机构之工件运送顺序图(1)。第九图(d)、第九图(e)、第九图(f)是表示第2实施例的工件运送机构之工件运送顺序图(2)。第十图为本发明第2实施例之工件的移动处理状态之时间图。第十一图是使用第1.第2实施例的基板处理装置之其他变形例(1)之图。第十二图是使用第1.第2实施例的基板处理装置之其他变形例(2)之图。第十三图是使用第1.第2实施例的基板处理装置之其他变形例(3)之图。第十四图是表示习知之工件运送机构(机器人)之一例图。第十五图是表示基板处理置之工件运送机构、处理部、匣载置部的配置之一例图。第十六图(a)、第十六图(b)是表示第十五图之基板处理装置的工件运送顺序之图(1)。第十七图(c)、第十七图(d)是表示第十五图之基板处理装置的工件运送顺序之图(2)。第十八图(e)是表示第十五图之基板处理装置的工件运送顺序之图(3)。第十九图为第十五图之基板处理装置之工件的运送处理状态之时间图。 |
